概要 |
高温真空加熱炉Red-Devil |
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加熱温度 |
最高2200℃ |
雰囲気 |
Ar、Ar/H2、O2、真空(TMP、〜10-3Pa) |
概要 |
高真空加熱炉SR-1800 |
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加熱温度 |
最高1800℃ |
雰囲気 |
Ar、N2、Ar/H2、真空(TMP、〜10-5Pa) |
概要 |
パルスレーザー堆積装置
(Nd:YAGレーザー266nm) |
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基板加熱温度 |
最高1400℃ |
雰囲気 |
Ar、N2、Ar/H2、真空(TMP、〜10-5Pa) |
高温マッフル炉 |
大気中、〜1500℃ |
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小型炉 |
大気中、〜1100℃
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高温管状炉 |
大気中、Ar中、〜1500℃ |
小型管状炉×2 |
純酸素ガス中、〜1100℃ |
イオンミリング装置 |
Gatan社製PIPS Model691(右写真) |
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ディンプルグラインダー |
Gatan社製Model 656
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自動研磨装置 |
ダイヤラップ×3 |
手動研磨装置 |
ハンディラップ |
切断装置 |
高速ダイヤモンドカッター
低速ダイヤモンドカッター |
概要 |
Hall効果測定 |
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最大磁場 |
0.5T |
温度範囲 |
20〜300K |
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